技术编号：10768330
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微电子技术的发展促进了计算机技术、通信技术和其它电子信息技术的更新换代，在信息产业革命中起着重要的先导和基础作用，光刻机是微电子器件制造业中不可或缺的工具。在光刻机中，掩模版的传输是必不可少的一道程序，在掩模传输过程中掩模版在掩模存储装置中的定位方式各有不同，但目的都是为了使掩模版在版盒内能够安全准确地进行定位和交接，并且在交接过程中不出现掩模版撞坏现象等安全性问题。为了保证掩模版在掩模存储装置内安全准确地定位及存储的问题，通常在与掩模版接触的表面使用洁净...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。