技术编号:10770495
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。离子源是使中性原子或分子电离,产生等离子体,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。离子源通常来说主要由等离子体发生器和电极系统组成。当束能量大于60keV时,高功率离子源电极系统通常由四层电极及其支撑法兰组成。每层电极有几百个直径的圆形截面引出孔或者宽度为毫米量级的缝型截面引出孔。面对等离子体的电极为第一电极(又可称为等离子...
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