技术编号：10782941
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。以往，作为电磁卡盘装置而例如具有专利文献I所记载的技术。在专利文献I所记载的技术中，形成了供电磁线圈所产生的磁束从主轴、背板(backing plate)、被加工物、模座(shoe)、模座臂、基台、磁通控制器(flux guide)以及基台依次通过的闭合磁路。由此，能够增大背板与被加工物的接触面的磁束密度，能够由背板以更强的磁力来保持被加工物。但是，对于模座通常使用耐磨损性优异的超硬合金，超硬合金为非磁性体，因此在模座的部分中磁阻增大，有可能导致电磁线圈的...
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