电弧坩埚制造机主机基座装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10790996

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石英坩祸是用高纯石英砂经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿,在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器,坩祸制造机用于制造石英坩祸,它是由加热电源、升降机构、往复倾动台三大机构组成。升降机构由基座,电极升降机构和遮热板升降机构构成,基座一般通过膨胀螺丝固定在地基上,主机架与主机形成一定的角度焊接在基座上,熔制过程中需要热源的位置始终停留在坩祸的中心位置。其缺点是熔制角度不能微调,安装精度要求较高,前后发生变化时主机不能移动,影响对电极使用寿命和坩祸熔制的质量,降低产...
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