技术编号:10791604
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。利用太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的重要途径之一。目前,80%以上的太阳能电池是由晶体硅材料制备而成的,制备高效率低成本的晶体硅太阳能电池对于大规模利用太阳能发电有着十分重要的意义。减反射膜的制备和氢钝化是制备高效率的晶体硅太阳能电池的非常重要工序之一。PECVD镀膜分为管式PECVD镀膜和平板式PECVD镀膜,后者的成本稍低一些,一般使用较多。现有的平板式PECVD镀膜一般采用U形挂钩(如图1所示),由于挂钩的尖端与挂钩内侧之间的间隔较大,在镀膜...
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