一种可360°旋转的平面三自由度串联精密定位平台的制作方法技术资料下载

技术编号:10797434

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随着机械工业和信息化社会的快速进步,精密定位技术的精度、分辨率也在不断提高,其发展经历了从50年代用于精密机床定位的毫米级,到60年代坐标机床定位的微米级,再到80年代CNC数控机床的亚微米级,现已广泛应用于医疗设备和生命科学、半导体和平板显示器、光电、汽车、数据存储、激光加工、军事、航空航天、电子制造等行业领域,定位技术在工业生产中具有举足轻重的地位,并拥有广阔的发展前景。设备的定位精度在很大程度上影响生产制造的质量及其应用效果,因此定位精度高可带来较高...
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