一种悬挂式垂直探针的制作方法技术资料下载

技术编号:10801522

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探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试,通过连接测试机和芯片,通过传输信号对芯片参数进行测试,目前产品讲求轻薄短小,IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多。传统的悬臂针卡,已经无法满足一些产品的测试需求。所以,垂直探针卡在晶圆测试领域开始越来越广泛的被应用。目前市场上的垂直探针卡,多以Cobra(眼镜蛇)形式的为主,因该探针的形状貌似眼镜蛇的形状而得名,该类型的探针头是用两片陶瓷盖板加上定位的mylar(聚脂薄膜)片组合而成。有鉴于上述的缺陷,本设...
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