多个晶圆整体转盒的控制电路及其装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10804978

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现今,设计并制造一块12寸晶圆片需要花费约3个月的时间,其中涉及300多道不同的工序,每道工序又需要专门的设备,足以说明一块12寸的晶圆片的成本价值之高,因此在12寸晶圆片的运输过程中都需要使用能够保障晶圆片安全的运输盒进行运输发货。经过市场调查,目前市面上各个厂家使用的运输盒各有不同,使一些取片设备不能与之一一匹配,因此一般的取片设备都备有能够与之配套的盒子从而方便取片。这样就涉及到了一个问题,如何将12寸晶圆片从客户发货的运输盒里转换到用于测试或者其他...
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