埋入硅基板扇出型3d封装结构的制作方法技术资料下载

技术编号:10804983

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在当前的半导体行业中,电子封装已经成为行业发展的一个重要方向,几十年封装技术的发展,使高密度、小尺寸的封装要求成为封装的主流方向。晶圆级扇出封装,其通过重构圆片和圆片级再布线方式,把I/O通过再布线面阵列布满封装表面,以便于扩大I/O节距,满足下一级互连的节距要求。目前,重构圆片的材料主要是模塑料,或者用于基板封装的半固化片等有机材料,实现功能芯片扇出结构的塑封,最终切割成单颗封装体。目前,通过多年的研发和产业化推动,晶圆级扇出封装被认为是一种I/O数较多...
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