技术编号：10806971
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来由于微纳米技术的迅猛发展，众多都需要亚微米、纳米级的微位移技术。压电陶瓷是一种广泛应用于精密微驱动领域的功能材料，具有功耗低、无电磁干扰、响应速度快等优点，以压电材料为驱动元件的驱动器成为近年来精密驱动装置的一个重要分支。而惯性式压电驱动器因其在工作行程、分辨率、工作频率、运动速度、频率响应、制造成本、受压电元件滞环蠕变影响程度等方面具有独特的优势已经发展成为压电精密驱动的一个重要部分。目前对压电惯性驱动器的产品化、实际应用是重要的分支，对驱动器稳定...
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