技术编号：10822301
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。由于X射线具有很强的穿透性，因而在很多应用领域均有采用，例如同步辐射光源、自由电子激光、大型天文望远镜等均会采用长度达I米左右的大尺寸反射镜面对X射线进行反射或聚焦，为了保证X射线的光学品质(如方向性、相干性)，或为了将X射线聚焦到纳米量级的光斑，通常要求这些大尺寸反射镜面具有纳米级的高精度和纳弧度级的倾斜度精度。对于如此高精度的大尺寸镜面而言，其加工和检测都是世界性难题，而检测又是加工高精度镜面的前提。基于细光束扫描测量的长行程面形仪(Long Trac...
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