技术编号：10822302
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在同步辐射、大型天文望远镜、极紫外光刻等领域需要用到长度约Im左右、面形误差低于0.1微弧度的细长形、高精度反射镜面，以将X射线聚焦到纳米尺度的光斑。这类用于聚焦的镜面面形好坏直接决定了X射线光斑的品质，因而需要对其进行精确测量。长程面形仪(Long Trace Profile，简称LTP)是用于检测这种大尺寸、高精度镜面面形的主要仪器之O长程面型仪本身是由精密光学元件组成的光学系统，其工作原理是将一束特定入射方向的参考光束入射到待测光学器件上，通过测量待...
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