技术编号：10826407

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这些年来已经使用了不同类型的声学设备。其中一种类型的设备是麦克风，而其中一种类型的麦克风是微机电系统(MEMS)麦克风，MEMS裸片(die)包括振膜和背板。MEMS麦克风包括MEMS裸片，MEMS裸片由基板支撑并被外壳(例如，杯(罐)或带壁的罩)包围。端口可延伸穿过基板(用于底部端口设备)或者穿过外壳(用于顶部端口设备)的顶部。在任何情况下，声能横穿端口、使振膜移动并使背板产生变化的电势，从而产生电信号。麦克风被部署在各种类型的设备(诸如个人计算机或手机...
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