技术编号:10844663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在磁控溅射系统中,通常需要通过控制磁控管转动形成转动的磁场,以便在镀膜过程中提高磁控溅射的溅射率。现有磁控管的转动主要是通过如图1中的驱动装置来进行驱动。图1中驱动装置的安装方式为小同步带轮8安装在电机7的轴上,电机7安装在电机支架71上,大带轮9安装在轴11上,同步带10安装在小同步带轮8与大带轮9上,轴11穿过上轴承座15,向心轴承16、支撑件17、轴承18,上轴承座15,向心轴承16、支撑件17、轴承18依次安装到轴11上,轴承座19安装到上电极上盖...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。