技术编号：10871763
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。其中生产出的而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅目前世界上最重要的单晶材料之一，它不但是集成电路的主要材料，更是太阳能电池的的主要材料。因此单晶炉的质量好坏直接关系着晶硅的质量。现有的单晶硅的放气装置是直接将密封螺母密封后，放气时直接将螺母旋下进行放气，这种放气装置容易发生惰性气体的泄漏，影响惰性气体的质量。并且随着不断放气单晶...
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