一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰的制作方法技术资料下载

技术编号:10871772

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法兰,又叫法兰凸缘盘或突缘。法兰是管子与管子之间相互连接的零件,用于管端之间的连接;也有用在设备进出口上的法兰,用于两个设备之间的连接。如在蓝宝石单晶炉真空系统中,真空室与真空栗之间经管道连接,但是由于单晶炉内的温度高于100tC,真空栗抽出的气体具有很高的温度,使连接管道的管壁温度很高,导致法兰连接处的密封垫圈(橡胶圈)很容易老化损坏,密封性降低,如果更换不及时还会出现漏气的现象,影响真空室的真空度;同时,由于单晶炉内的蓝宝石晶体材料在高温熔融时会产生大...
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