技术编号：10876068
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在太阳能硅片的槽式清洗设备和槽式湿法处理设备中，需要机械手将装载硅片的承载件，如，片盒或花篮，依次提放到各个容器内进行化学腐蚀或水清洗处理。在处理结束后往往需要对硅片和承载件进行烘干处理。目前常见的有隧道式烘干或槽式烘干等方式，由于隧道式烘干占地面积大，烘干效率低，已经逐渐被市场所淘汰。目前使用的槽式烘干仍然存在体积大、能耗高、烘干效率不高、安装复杂等问题。发明内容本实用新型为了解决现有对硅片和承载件进行烘干设备体积大、能耗高、烘干效率不高、安装复杂的技术...
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