一种薄膜铂电阻温度传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:10876628

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目前,为了克服传统铂电阻浪费材料、造价高、铂丝易断而造成的性能不稳定的技术难题,一种阻值均匀、节约成本、性能稳定的新型薄膜铂电阻得到广泛应用。同时,为了进一步满足更高精度的测量要求,提高传感器的灵敏度,常用的方法一般是采用单位面积上长度增加、阻值增大的“S”形铂丝替换原始“一”字形铂丝。然而,“S”形铂丝由于阻值较大,在狭小空间内,特别是在薄膜铂电阻温度传感器尺寸受限的情况下,往往易于积聚热量,从而使感温元件自身温度升高,造成测量误差。同时,铂丝上覆盖的保...
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