用于玻璃酸蚀刻的设备和方法技术资料下载

技术编号:10890372

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制造用于平板显示器的基材的方法包括多个步骤,其中需要在不损坏玻璃板的主表面的情况下支撑和/或传送(传输)玻璃板,特别是在不损坏玻璃板的“高质量”表面的情况下,在该表面上形成显示器的组件例如薄膜晶体管和滤色片。例如,在基材制造过程中,需要将玻璃板切割到所需尺寸、进行边缘研磨、洗涤以及包装和运输或以其它方式提供到显示器制造商。随着玻璃板大小增加且玻璃板厚度没有相应地增加,该玻璃板的横向刚度显著下降。同时,运输速度要求仍然保持恒定或增加。已发现,虽然出于许多原因...
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