技术编号:10896727
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提升晶体硅电池效率,是有效降低太阳能电池片效率的手段之一。随着电池扩散工艺逐渐进步,低方阻均匀扩散电池已经可以在产线上实现,满足了降低太阳能电池发射极杂质,减少少子复合,从而提升电池电压的要求。同时,为了弥补金属接触发射极升高的接触电阻问题,选择发射极技术被广泛应用,主流的技术为激光制熔选择发射极技术。传统的激光制熔选择性发射极为以下制备步骤第一步,如图1-1所示,硅衬底la表面生长钝化层2a,一般为氮化硅薄膜;第二步,如图1-2所示,扩散掺杂溶液喷涂,形...
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