技术编号：10903492
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。已知，MEMS (微机电系统)类型的声换能器(特别是麦克风)包括薄膜敏感结构，设计成将声压波转换成电气量(例如电容性变化)；以及读取电子装置，设计成在所述电量上执行适当的处理操作(其中的放大和过滤操作)，用于供应表示所接收的声压波的电输出信号(例如电压)。在其中采用电容检测原理的情况下，微机电敏感结构通常包括作为隔膜或薄膜获得的移动电极，该移动电极设置成面向固定电极，用于提供电容可变的检测电容器的极板。移动电极通过其第一(总体上为外围)部分而锚定至结构层，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。