技术编号:10903948
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,热处理设备成为工厂生产不可少的设备之一,随着热处理设备不断的发展, 热处理设备以其独特的优点得到广泛的应用,但是有一些热处理设备仍然存在一定的问题,申请号为201410563389.0的中国专利,具体内容为公开了一种热处理设备。此热处理设备包含处理腔室,其中具有衬底处理空间;光源,安置在处理腔室外部以输出光,光源将光照射到装载到处理腔室中的衬底上;以及停滞凹槽,在处理腔室内安置在衬底上方并且具有内部空间,从光源发出的光和惰性气体穿过内部空间并且被引导...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。