技术编号:10904020
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。单晶硅的拉制的一般方法有区熔法和直拉法,直拉法是生产单晶硅的主要方法,把原料多硅晶块放入石英坩祸中,在单晶炉中加热融化,在将一根直径只有1mm的晶种浸入溶液中,在合适的温度下,溶液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单晶体。把晶种微微的旋转向上提升,溶液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶,并延续其原子的排列结构。直拉法的其工艺步骤包括清炉、装料、化料、稳定、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、冷却十个环节。其中在装料和化料...
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