技术编号：10913826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。纳米技术是推动21世纪人类社会节能降耗、绿色环保、智能便捷和健康生活方向发展的重要科学技术。纳米操作技术在纳米材料的表征，由纳米材料组装搭建而成纳米器件的操作、加工、装配及测试中起着关键作用，目前已经成为纳米技术中的关键技术。扫描电子显微镜(SEM)是用于微观结构形态和化学成分表征检测和分析的最通用的工具之一。因其具有实时纳精度实时观测、高洁净，高真空度等优点，且能够提供充足的真空室空间，可集成多种检测装置和定位装置，因此基于SEM的微纳操作系统实现纳米对...
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