技术编号：10926421
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有的石英晶片清洗装置，往往采用的都是使用超声波清洗槽逐个的进行纯水超声波清洗，这种清洗方式对于晶片表面所携带的金属分子物质不能彻底有效的去除，致使晶片表面吸附金属分子影响后续产品测试质量。实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种石英晶片硝酸清洗装置，采用单个机械臂进行工位转换动作，动作平稳可靠，对晶片表面的金属分子物质能有效去除，且整个设备清洗槽全封闭结构，大大减少酸性溶剂的挥发而导致的环境污染。为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案—种...
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