一种线切机上下料agv车的制作方法技术资料下载

技术编号:10928745

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现有的半导体硅片线切机上料方式都是需要人工来操作的,由于硅单晶晶棒体积大,质量重,人工搬运费时、费力、易损坏晶体,搬运速度低,搬运操作人员劳动强度大,安全保障性低,这就需要一种用于搬运晶棒的上下料装置。发明内容有鉴于此,本实用新型旨在提出一种线切机上下料AGV车,以解决现有人工搬运费时费力,搬运速度低,搬运操作人员劳动强度大的问题。为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的—种线切机上下料AGV车,包括车体,所述车体前端设置有激光传感器,所述车体上端...
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