技术编号：10931132
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前半导体行业中，连接两个真空管道的连接结构主要是采用如图1所示的结构，在上真空管道和下真空管道之间通过中心环I进行连接，中心环I内部垫有O型密封圈2，中心环I的外径为一凸起，在中心环的外径上套设一内部凹陷的夹圈3，使夹圈3凹陷部分与凸起的形状相卡接，从而固定住上下两个真空管道。但是使用的真空管道连接结构中的中心环采用的是不锈钢材质，O型密封圈采用的是一般耐腐蚀的材质。由于半导体真空管道所处的工作环境，不可避免的会有从上向下的特种气体粉尘(如图2箭头所指示...
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