技术编号：10963572
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅是制造光/伏发电的太阳能电池片的基础材料，同时以电子级多晶硅为原料生产的单晶硅是电子信息产业的基础材料，是生产大规模集成电路、半导体分离元件、电力电子器件的原材料，目前多晶硅生产工艺普遍采用西门子法，在还原炉内通过发生化学反应生成多晶硅法，反应温度可高达1050?1150°C，因此还原炉加热器设计尤为重要。现有技术中多晶硅还原炉加热器所用的电炉丝固定夹紧机构，存在固定夹紧不稳定可靠，易使电炉丝震动位移，结构设计不合理，使电炉丝安装后，相邻电炉丝的距离...
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