一种垂直结构芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:10967051

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随着全球极端气候的频繁发生,照明领域也正进入一次大的变革。LED(LightEmitting D1de,发光二极管)作为第三代的固态照明技术,正被大家高度关注;但是随着技术的发展,成熟的现有工艺正面临着巨大的挑战。垂直结构芯片由于其工作时电流分布相对均匀,发光形貌符合朗伯分布模型,因此在大功率光源领域,尤其对光斑质量要求较高的领域有广泛的应用。然而,垂直结构芯片的生广良率一直有待提尚,影响良率的关键因素之一便是正反漏电,导致芯片漏电的因素很多,其中很大一部...
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