技术编号：10969255
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着半导体晶圆加工以及集成电路的高集成化及高性能化，为了提高半导体晶圆加工、集成电路板制造，液晶显示屏生产等各种电子元件的品质及产品的成品率。对于生产环境所需要的洁净房的要求也越来越高。根据制造工程清洁房等规定严格实行清洁度管理就变得至关重要。而如何减少清洁度基准中尘埃、VOC等化学物质成分也成了很重要的问题。此外，日本平成15年施行的室内空气污染新法(建筑基准法、同法施行令及同法施行规则的一部分改正施行)规定了对于居室内化学物质发散在卫生上的措施，标示了...
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