技术编号：10971955
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。化学气相沉积法可以透过催化剂种类、气体成分、温度、等离子体产生方式来制作各种不同的碳纳米材料。通过调整等离子体特性就会影响碳离子的数目与能量，进而影响碳原子融入催化剂金属的浓度。而传统的直流偏压化学气相沉积炉的设计，因阴极与阳极的相对位置固定，无法通过调整阴极和阳极之间的距离，则只能依靠外加电压与气体压力调整等离子体的情况，可调整的参数较少，纳米材料的生长条件优化受限制。实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够调整第一电极和第二电极之间的距离的...
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