技术编号：10981939
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用毛细管大电流，快脉冲放电Z箍缩获得13.5nm极紫外光源(DPP)，做为极大规模集成电路小于20nm光刻刻线技术，其中将毛细管中产生的13.5nm极紫外光有效收集，在焦点处获高功率密度光，其中一重要环节，就是收集镜片的加工。本项目提出了用车削直接加工收集镜片，将口径从大到小若干镜片加工完后依次组装起来，组装一收集镜系统。这一系统中，最大口径的收集镜片应在Φ500mm以上，壁厚<2mm，面形是由双曲面和椭球面双非球面光学面组成的。对这一收集镜片要通过...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。