技术编号:10986716
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在多晶硅装置尾气回收系统中吸附柱是极其关键的设备,用来吸收氢气中的残留的HCL和氯硅烷,从而得到高纯度的氢气,吸附柱内的吸附剂吸附工作后,为解决成本,需要对吸附剂进行再生,而吸附剂再生就需要进行加热,现有的吸附剂加热,因吸附剂受热不均匀,导致吸附剂的加热效率、冷却效率均不高,从而造成吸附剂的再生时间偏长。实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种结构简单、换热效率高和降低生产成本的多晶硅尾气回收系统用翅形套管。本实用新型的目的通过以下技术...
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