技术编号：10998355
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有PERC太阳能电池的生产步骤一般包括清洗制绒、扩散制PN结、刻蚀和去PSG、双面钝化、激光开孔、丝网印刷、烧结。其中激光开孔是为了金属电极与硅片形成良好的接触，开孔的好坏直接影响到电池的填充因子，从而影响电池的转换效率。三氧化二铝为两性氧化物，与强酸和强碱都能反应，所以，可以通过化学腐蚀的方法进行开孔。同时，激光烧蚀在微加工方面的应用越来越广泛，也可以用作三氧化二铝开孔。现有技术存在的问题和缺点化学腐蚀掩膜湿法腐蚀法，步骤多，流程复杂，并且容易引入离子...
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