一种适用于正交光抽运、探测的mems原子气室及其制作方法技术资料下载

技术编号:11002825

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近年来,随着微机电系统(micro-electromechanical systems,MEMS)技术的快速发展,其应用领域不断的拓展。其中,“与原子物理相结合,实现体积小、功耗低、成本低、精度高的精密测量器件”是一个重要的发展方向,如芯片原子钟、芯片磁强计、芯片级核磁共振陀螺仪。在这些原子精密测量器件中,碱金属气室都是核心部件。基于相干布居囚禁(coherent populat1n trapping,CPT)原理的芯片钟和基于光抽运和磁共振技术的芯片磁强...
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