技术编号：11010065
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。蓝宝石具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高等一系列优点，被广泛应用于LED衬底。蓝宝石衬底的制造过程是先将蓝宝石晶棒切割成片状，然后对切割后的晶片进行一系列的研磨和抛光加工工序，最后到达超光滑无损伤的晶片表面。在不同的加工工序中因加工环节和加工方法的不同，会在晶片表面残留不同的杂质和污染物，这些如道工序广生的晶片表面残留物往往会对后一道工序广生不利影响。因此，在监宝石晶片的制备过程中，往往需要进行多道清洗。在蓝宝石晶片传统的清洗过程中，往往...
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