技术编号:11013768
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为电磁波信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。声表面波(SAW)以其沿基片表面传播对外围环境扰动极为灵敏的特点而在各种物理、化学参量的检测中获得了广泛应用,形成了种类繁多的SAW传感器。特别是SAW器件的低成本、小体积、高灵敏度、良好的稳定性与可靠性以及便于与IC集成的特点使其具有广泛的应用前景。目前基于SAW技术的各种传感器的研究...
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