技术编号:11016119
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在半导体集成电路制造过程中,硅晶片需要在贴合、划片等多达几百种工艺设备之间来回传输并进行加工检测。在加工检测过程中,需要将硅晶片十分平稳、固定地安放在工艺设备上。目前市场上通用的是静电吸盘,静电吸盘以其作用力分布均匀,硅晶片不会翘曲、非直接接触、污染少及可用于高真空环境中而得到应用。然而现有的静电吸盘存在不耐高温、易于损耗、不耐酸碱和有机溶剂、不易清洗、易污染晶圆片,要经常更换的缺点。目前, 也有陶瓷吸盘,其采用陶瓷材质,制造难度大、成本高、易碎。发明内容...
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