技术编号：11016185
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。精密定位平台广泛应用于一些需要亚微米级甚至纳米级定位精度的工作场合，比如，超精密加工、微电子工程、生物工程、纳米技术等领域，是精密定位技术的核心。柔顺机构是一种通过机构本体的弹性变形来实现运动的新型机构，可避免传统刚性机构中的铰链间隙和装配误差等问题，使得这类机构的运动精度可达亚微米级甚至纳米级，因此广泛作为精密定位平台的本体，特别是柔顺并联机构。通常情况下，精密定位平台由压电陶瓷驱动器驱动，这类驱动器相较于传统驱动方式具有精度高、响应快和驱动力大等优点，...
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