技术编号：11021025
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微定位平台主要包括微位移驱动系统、运动平台、位移检测装置和控制系统，其中微位移驱动系统的性能对整个系统的性能具有关键作用。传统的微位移驱动系统大多采用丝杠-螺母机构、齿轮-杠杆机构等机械结构，由于存在摩擦力、机械侧隙、爬行等一系列问题，其精度一般只能达到微米级。随着对各种新型功能材料的深入研究，将电能或磁能直接转换成机械能的智能驱动系统已逐步成为该项技术发展的趋势，同时也使得微位移驱动系统的性能得到了大幅度的提高。目前，根据驱动方式不同，微位移智能驱动系统...
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