技术编号:11021792
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,在OLED制备过程中,有机材料的蒸镀是至关重要的一环,蒸镀过程中多要采用超精细金属掩膜板来实现高分辨率的像素设计,随着像素密度越来越高,蒸镀过程中混色等不良产生的概率越来越大。金属掩膜板从来料检查到张网焊接,再从张网到清洗,整个过程中对金属掩膜板的平坦度均有很高的要求,这也是对后续蒸镀工艺的必要保证。请参照图1,在现有技术中,通过四个金属掩膜板夹持装置对金属掩膜板的平坦度进行调节,每个金属掩膜板夹持装置即为主夹具1,四个金属掩膜板夹持装置分别夹持在金...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。