技术编号:11022762
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。ITO(氧化铟锡)靶材作为一种η型半导体陶瓷材料,由于用其制造的陶瓷薄膜具有透明导电的特性,而被广泛应用于LCD、0LED、PDP等各类显示器件中。随着我国电子显示行业特别是LCD、薄膜晶体管(TFT)、便携式计算机、高清晰度电视(HDTV)等行业的高速发展,ITO膜的需求量也越来越大,对ITO靶材的的要求也相应地越来越高。特别是随着大尺寸TFTLCD面板的发展,对ITO靶材的尺寸要求也相应地增大。而随着ITO靶材尺寸的增大,靶材的烧结难度也逐渐增加,问题...
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