一种用于金刚砂线切割硅片的水性切割液的制作方法技术资料下载

技术编号:11023195

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随着全球太阳能和微电子行业的飞速发展,对娃片的需求快速增长。切片是娃片 加工的第一道工序,同时也是造成娃片应力、表层及亚表层损伤及崩边的主要工序之一,而 切割液的性能是影响娃片切割效率及质量的关键因素之一。 目前的娃片切割工艺主要采用游离砂浆切割悬浮液和金刚石砂线切割,而金刚石 砂线切割是一种更为新型的切割工艺,利用砂线外层锻有的金刚石与娃片摩擦来进行切 害d,切割液就不再需要悬浮碳化娃颗粒,也不再需要具备较高的粘度,不需要在溶液中混入 碳化娃刃料,其切...
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