技术编号：11023614
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 DLC又被称作（类金刚石）薄膜作为一种多功能材料，它具有高硬度、低电阻、低摩 擦系数、良好的导热性、光透过性等性能，被誉为21世纪最具影响战略新型材料之一，在机 械、光学、电子、航天等多个领域有着广泛的应用。常见的制备DLC薄膜的方法有很多，传统 磁控瓣射是锻制DLC薄膜常用的方法。它的优点在于磁控瓣射法可W获得表面粗糖度低， 均匀性良好的DLC薄膜。但是传统的磁控瓣射法也有它的不足之处，磁场约束的高密度等 离子体区只能分布在祀面附近，而整个沉积室内的等...
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