技术编号:11029926
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及气体纯化设备领域,特别涉及一种氨气提纯用吸附装置。背景技术太阳能做为一种清洁、高效的可再生能源,能广泛应用于家庭发电系统和大型商业光伏项目等诸多领域,高纯氨气在CVD(化学气相沉积)过程中为生产氮化硅薄膜提供氮源,是硅片清洗过程不可缺少的重要工艺气体,当然也是太阳能光伏行业必不可少的重要电子原料气体。目前国内原料氨市场颇多,含量均在99.8%左右,而高纯及以上的氨气(99.999%-99.9995%)相对却很少;同时国内外高纯及以上的氨气价格也都是非常高。因此由原料氨气提纯适用于太...
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