一种氨气提纯用吸附装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11029926

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及气体纯化设备领域,特别涉及一种氨气提纯用吸附装置。背景技术太阳能做为一种清洁、高效的可再生能源,能广泛应用于家庭发电系统和大型商业光伏项目等诸多领域,高纯氨气在CVD(化学气相沉积)过程中为生产氮化硅薄膜提供氮源,是硅片清洗过程不可缺少的重要工艺气体,当然也是太阳能光伏行业必不可少的重要电子原料气体。目前国内原料氨市场颇多,含量均在99.8%左右,而高纯及以上的氨气(99.999%-99.9995%)相对却很少;同时国内外高纯及以上的氨气价格也都是非常高。因此由原料氨气提纯适用于太...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 张老师:1.探索新型氧化还原酶结构-功能关系,电催化反应机制 2.酶电催化导向的酶分子改造 3.纳米材料、生物功能多肽对酶-电极体系的影响4. 生物电化学传感和生物电合成体系的设计与应用。
  • 邬老师:1.高分子材料的共混与复合 2.涉及材料功能化及结构与性能的研究; 高分子热稳定剂的研发
  • 褚老师:高分子生物材料与生物传感器,包括抗菌/抗污高分子材料、生物基高分子材料、超分子水凝胶、蛋白质材料的合成与自组装、等离子体聚合功能薄膜、表面等离子体共振光谱(SPR)、表面增强拉曼散射(SERS)生物传感器等。
  • 廖老师:1. 晶面可控氧化铝、碳基载体及催化剂等高性能、新结构催化材料研究 2. 乙烯环氧化催化剂的研究与开发 3. 低碳不饱和烯烃的选择性氧化催化剂及工业技术开发
  • 李老师:1. 加氢精制 2. 选择加氢 3. 加氢脱氧 4. 介孔及介微孔分子筛合成及催化应用
  • 贾老师:生物材料
  • 才老师:1.光合细菌及暗发酵细菌生物制氢技术研究 2. 有机废水生物处理与资源化利用技术研究 3. 生物活性物质筛选与利用研究
  • 王老师:功能高分子材料,污水处理,电化学合成