技术编号:11033040
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电机驱动技术,更具体的涉及一种单驱动刚柔耦合精密运动平台。背景技术高速精密运动平台在半导体封装等领域中被广泛使用。高速精密运动平台中运动副之间表面粗糙度的不确定变化会导致摩擦阻力的幅值不确定变化。而在运动平台的启动、停止和微进给过程中,运动平台的速度相对较低,上述摩擦阻力的幅值波动容易导致运动平台出现“爬行”现象。在闭环控制系统作用下,驱动器将会通过增大驱动力的方式来克服摩擦阻力,补偿运动平台定位误差。在上述补偿过程中,运动平台将经历频繁的“静止→运动”状态切换。在“静止→运动”过...
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