技术编号:11033756
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于金刚线切割技术领域,具体涉及一种新型切削液喷淋装置。背景技术当金刚线高速切割硅棒的时候,金刚线与硅料之间发生剧烈摩擦,产生大量热量。在切割过程中通过高速运行的金刚线将切削液带入到切割缝隙中,可将产生的热量及时带走。这种方法需要切削液喷淋到线网上的流量必须均匀,才能保证金刚线切割过程的切削液在硅棒的每一个位置的带入量一致,才能保证硅棒的各位置的热应力变化一致,不产生内部裂纹等问题。喷淋切削液常用的方法是对喷淋管进行流体力学设计,控制喷淋管上喷淋孔的孔径和孔距。一种方法是等孔距,变孔径...
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