技术编号：11038212
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及具有双轴致动的微机械结构以及相应的MEMS(微机电系统)设备；特别地，本公开将涉及用于例如为投影仪的光学MEMS设备的反射器微机电结构(也被称为“微镜”)。背景技术反射器微机械结构是已知的，其至少部分地由半导体材料并使用MEMS技术制作。这些微机械结构可以被集成在便携电子装置中，诸如举例而言，平板电脑、智能电话、PDA，以用于光学应用，特别是用于以期望的模式引导由通常是激光器的光源所生成的光辐射束。由于减小的尺寸，微机械结构使得关于空间占用在面积和厚度方面能够满足严格的要求。例如，...
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