技术编号:11040367
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于高效多晶硅片的制造领域,具体涉及一种高效多晶硅铸锭炉热交换平台及采用该平台的铸锭炉。背景技术在光伏领域的高效多晶硅片的制造过程中,其中铸锭技术对硅片品质有决定性作用。铸锭过程中,由于石墨热场和硅熔体高温反应,大量碳杂质进入熔体,在晶锭长晶过程中由于组分过冷或固液界面呈凹型造成熔体流动不畅不能有效推进碳杂质的偏析,进而造成碳浓度过高,从而产生碳化硅杂质点,坩埚涂层氮化硅也起到了促使作用,形成了氮化硅和碳化硅共生的杂质点。这些杂质点需要通过红外探伤,经红外成像才能看到,确定了位置大小后...
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