技术编号:11041466
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜机的辅助装置,尤其涉及一种镀膜机三盘多工位回转分度自动选位对位装置。背景技术镀膜机基片盘,掩膜盘一般采用实验人员人工进行基片和掩膜的选位及对位。实验人员选位、对位工作操作频繁,科研工作效率低。授权公告号为CN203613254U的中国实用新型专利公开了一种真空镀膜机,包括真空罩和用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统,真空罩内设置有伞架和蒸发源,伞架包括能够周向转动的转盘和若干个工件架,工件架分别与转盘通过各自转轴一相连,工件架沿转盘周向呈伞状分布,该真空镀膜机还包括能使工件架...
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